高频光电导少数载流子寿命测试仪
2、技术参数(1)寿命测试范围:5~10000μs;电阻率测量范围:ρ≥2Ω·cm;测电子级参杂硅单晶片(厚度小于 1mm),电阻率范围:ρ>0.1Ω·cm(表面可能需要抛光处理)。测量重复性误差≤±20%。(2)光脉冲发生装置重复频率>20~30次/s,光脉冲关断时间:0.2~1μs,余辉<1μs红外光源波长:1.06~1.09μm(测量硅单晶),红外光在硅单晶内穿透深1度大于500μm如测量锗单晶寿命需另行配置适当波长的光源脉冲电源:5~20A(3)高频源高频振荡源:石英谐振器;频率:30MHz;低输出阻抗,输出功率>1W(4) 放大器和检波器放大倍数约25倍,频宽:2Hz~2MHz配用示波器配用示波器:模拟带宽>20MHz,大实时采样率 1GSa/S,垂直灵敏度2mV-5V/div,扫描范围 2.5ns-50s/div。(5)仪器配置的光源电极台既可测纵向放置的单晶,亦可测竖放单晶横载面的寿命可测单晶尺寸:断面竖测:直径25~150,厚度2mm~500mm纵向卧测:直径5mm~150mm,长度50mm~800mm(6)读数方式:可选配载流子寿命测试软件系统或数字示波器读数,软件系统测试操作简单,点击“测量"即可,自动保存数据及相应测试点衰减波形到数据库,可进行查询历史数据和导出历史数据等操作。整机体积、重量、电源主机外形尺寸:W470×D365×H155;总重量:≤15Kg;电源:~220V 50Hz;功耗≤50W。
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第15年