气体流量控制器（氢气）

气体流量控制器（氢气）

质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM)用于对气体的质|量流星进行测量;质|量流量控制器
(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质|量流量进行测量和控制。它们在半导体WEI电子工业、TE|种材料研制、化学工业、石油工业、真空等多种领域的科研和中有着应用。其典型的应用场合包括;电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、WEI|反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
D07-19B 型 MFC 性能指标
流量规格( 0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
流量控制范围：2-99.999999 ofF.S.
准|确|度±1 % F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.)
线性±0.5 % F.S. (20,30SLM:±2 % F.S.J
重复精度±0.2 % F.S.
响应时间≤2 sec
工作压差范围≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa(14.5~72.5 psid)
> 10SLM: 0.1~ 0.3 MPa(14.5~43.5 psid)
工作压力≤1 MPa(145 psig)
耐压3MPa (435.1 psig)
工作环境温度5°C~45°C
输入信号0V~+5.00V.(输入阻|抗＞100K,输出电流≯3mA)
输出信号0V~+5.00V.(输入阻|抗＞100K,输出电流≯3mA)
电源+15V 50 mA; -15V 200mA
重量0.95 kg
注意:质|量流量计和质|量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。
质|量流量的单位规定为; SCCM (标准升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为:温度--- 273.15K (0°C );
气压- 101325 Pa (760mmHg)，单位SCCM
和"ml /min, 0°C,1atm"等同，单位SLM和"L/min, 0°C,1atm"等同。
F.S. (Full Scale):满量程值