电容电压特性测试仪 仪表
技 术 指 标 :测试信号频率 1.000MHz±0.01%;测试信号电压 小于或等于100mVrms;电容测量范围 1.000pF~5000.0pF;工作误差 ±3.0%±2字;直流偏压 -35V~+35V(可扩展),由软件按设定步进电压值输出偏置电压;软件功能 由软件控制电压的扫描输出,读取不同电压点的电容值并在电脑中绘出电容-电压的变化曲线;软件可记录、保存、打印每一点的测试数据,也可把测试数据输出到Excel中,对数据进行各种数据分析。电脑通讯接口 USB通讯接口;应用 应用于MOS掺杂和PN结掺杂的C-V特性测量,也可测试其它MIS电容等。MOS(金属-氧化物-半导体)结构的电容是外加偏置电压的函数,MOS电容随外加电压变化的曲线称之为C-V曲线(简称C-V特性)。C-V曲线与半导体的导电类型及其掺杂浓度、SiO2-Si系统中的电荷密度有密切的关系。 利用实际测量到的MOS结构的C-V曲线与理想的MOS结构的C-V特性曲线比较,可求得氧化硅层厚度、衬底掺杂浓度、氧化层中可动电荷面密度、和固定电荷面密度等参数附送实验样品 P型MOS实验样品、N型MOS实验样品、PN掺杂实验样品供电电源 交流电压:220V±5%;频率: 50Hz±5%;消耗功率:不大于40W;工作环境 温度:0—40℃;湿度:20%~90%RH 40℃;
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第16年