微小气体质量流量控制器

微小气体质量流量控制器

材质：不锈钢 精度等级：1
适用介质：气体 款式：电子带数显
公称直径：6mm 工作压力：3Mpa
流量测速范围：0---30SLMkg/h 工作温度：5-65℃
介质：氧气
流量范围：750-3000SCCM
供电：DC24V
输入输出：0-5v或者4-20mA
显示：LCD
通讯：RS485
精度：±1%FS
压差范围：0.05Mpa-0.3MPa
进口压力：≤3Mpa
温度：5-65℃
连接：1/4卡套接头
氮气标定量程

应用范围
应用领域应用到热处理，半导体，真空设备，太阳能，分析仪器，光电，制气，，化工，锅炉等各个领域。

原理
采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响，将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的量使之与设定的流量相等。

特点
1.多气体、多量程、高精度、快反应。
2.重复性好，稳定性高，高。
3.工作压力范围宽，使用寿命长。
4.本地显示，高清晰液晶屏数字、模拟量输入输出。


安装注意事项：
测量介质：气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。
工作压差：要注意工作介质的气压，应注意使控制器进出气口两端的工作压差保持在指标范围之内。工作压差不在规定的范围内，流量将无法关闭或调小。在使用大流量的质量流量控制器时，要注意适当加粗管道和减小气源内阻，若工作压差小于要求值，有可能流量达不到满量程值。（建议客户：在进出口处安装压力表）