高真空磁控溅射仪 仪表 高真空磁控溅射仪 仪表
仪器主机尺寸: 长 610mm×宽 420mm×高 220mm（注：含腔体总高 490mm）
工作腔室尺寸： 标配：玻璃腔体（高度可选）：直径 260mm×高 200mm（外尺寸）
直径 240mm×高 200mm（内尺寸）
选配：金属腔体：直径 260mm×高 270mm（外尺寸 ）
直径 210mm×高 270mm（内尺寸）
仪器主机尺寸: 长 610mm×宽 420mm×高 220mm（注：含腔体总高 490mm）
工作腔室尺寸： 标配：玻璃腔体（高度可选）：直径 260mm×高 200mm（外尺寸）
直径 240mm×高 200mm（内尺寸）
选配：金属腔体：直径 260mm×高 270mm（外尺寸 ）
直径 210mm×高 270mm（内尺寸）
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