匀胶机 仪表

匀胶机 仪表

技术参数及要求：
基片尺寸：Φ5-Φ100mm 圆片， 大100×100mm2方片
转速：500-8000RPM
转速稳定性：<±1%
旋涂均匀性：<3%
旋涂工艺阶段：2 段
旋涂时间：Ⅰ速 0~18S,大（0~60S）；Ⅱ速 0~60S,zui大（0~180S）
整机尺寸（长宽高）：210mm×260mm×275mm
裸机尺寸（长宽高）：210mm×260mm×155mm
电机功率：40W
适应材料：硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料

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