质量流量控制器 质量流量控制器 流量量程 0~5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm 产品精度 ±1.5%F.S. 重复精度 ±0.2% FS 线性 ±1%F.S. 响应时间 ≤10sec 气特性≤4sec 工作温度范围 (5~45)°C 耐压 3MPa 输入输出信号 (0~+5)VDC 电源 ±15V 阀类型 常闭 温度系数 零点飘移指标 - 无 - 电气连接 D sub 15 pins Female 工作压差范围 (0.1~0.5) MPa 漏率 1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He) 标准接头形式 双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8",φ4(内)×1软管接头,VCR1/4",双卡套1/4",φ6(内)×1软管接头 表面化学成分 - 无 - 表面粗糙度 - 无 - 抗电磁干扰 CE 重量 1.1kg
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