热式气体质量流量控制器（模拟信号） 热式气体质量流量控制器（模拟信号） 型号 AC-S030C
流量规格（氮气） 10SCCM-30SLM
控制量程 2%-100 %
精度 ≤±1.0%F.S
线性 ≤±0.5%F.S
重复性 ≤±0.2%F.S
阀门类型 常闭阀
响应时间 1-3sec
耐压 ≤0-50Bar
通信信号 0-5V/4-20mA
供电方式 15VDC or 24VDC (300mA)
泄漏率 1×10-9atm. cc/sec He
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