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离子溅射仪(磁控)
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产品名称: 离子溅射仪(磁控)
产品型号: M363284
产品报价:
QQ咨询: 有事Q我
产品特点: 离子溅射仪(磁控)
库号:M363284
此款小型磁控离子溅射仪主要用于SEM制样样品镀导电膜(如金膜)或材料镀膜。采用磁控冷态溅射,基本不升温,保护样品。
产品简介

离子溅射仪(磁控)

离子溅射仪(磁控)


技术参数:
1.样品室空间:直径120mm×高110mm
2. Pt靶为标配,靶材尺寸:φ50mm×0.1mm
3.真空控制电路设计,实现真空度和溅射电流,互锁,可调电流40mA;
4.侵入式磁控低温离子源,可换靶材,环绕暗区护罩;
5.使用计|时控制器,可调设置范围:1-500秒,连续可调
6.自动真空泄气功能,自动排气,可通过数字定时器进行控制
7.进口真空泵,抽速8.5m3/h,噪声不大于48dB,可置于抗震台上,全金属集成耦合系统
8.微型真空气阀:微量流量阀,精度±0.1Pa


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