离子溅射仪(磁控) 离子溅射仪(磁控)
技术参数: 1.样品室空间:直径120mm×高110mm 2. Pt靶为标配,靶材尺寸:φ50mm×0.1mm 3.真空控制电路设计,实现真空度和溅射电流,互锁,可调电流40mA; 4.侵入式磁控低温离子源,可换靶材,环绕暗区护罩; 5.使用计|时控制器,可调设置范围:1-500秒,连续可调 6.自动真空泄气功能,自动排气,可通过数字定时器进行控制 7.进口真空泵,抽速8.5m3/h,噪声不大于48dB,可置于抗震台上,全金属集成耦合系统 8.微型真空气阀:微量流量阀,精度±0.1Pa
离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 离子溅射仪 |