磁控溅射仪 仪表

磁控溅射仪 仪表

参数 指标

石英仓尺寸 150X120MM

样品台尺寸 70mm

溅射面积 50mm

高真空度 5pa

可通气体 氩气，氮气等惰性气体

高溅射速度 8nm/min

整机功率 200W

机器尺寸 360(W)X310(D)X150mm(H)

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