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自动磁控离子溅射仪
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产品名称: 自动磁控离子溅射仪
产品型号: KM1-SBC-2000
产品报价:
QQ咨询: 有事Q我
产品特点: 自动磁控离子溅射仪
型号:KM1-SBC-2000
库号:M312284
微处理器控制,一键操作,具备暂停功能
产品简介

自动磁控离子溅射仪

自动磁控离子溅射仪


主 要 参 数
溅射靶头 低电压平面磁控溅射 输入电源 220V/100W(50/60Hz)
主机尺寸 260(L)×400(D)×365(H) 可用靶材 金、铂、银、铜、钯等
显示屏 7 英寸彩色触摸屏 靶材尺寸 φ57×0.12mm(标配)
真空室 ~φ130×130(H)mm 真空室材质 高强度石英玻璃
真空泵 旋片泵(可选配干泵) 抽速 1.1L/s
真空泵尺寸 445(L)x144(D)x217(H) 真空泵电源 220V/400W(50/60Hz)
真空规 皮拉尼真空规管 ji限真空 ≤1Pa
操作方式 一键操作(全自动) 样品台 Φ64mm
工作电流 5-45mA 连续可调 工作时间 1-999s 连续可调
保护功能 过流、真空保护 工作气体 空气/氩气
连接管路 不锈钢波纹管 管路规格 KF16/25—800(L)mm
膜厚仪 可实时监测控制镀膜厚度,设定范围 0-999nm,显示精度 0.1nm
靶材参数 内置 4 种常用靶材工作参数,同时预留 4 组参数,用户可自定义使用
其它功能 可记录靶材使用时间、仪器运行时间等参数,方便了解设备运行情况
选配件 行星转台、倾斜行星转台等



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