质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行测量;质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行测量和控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、和真空等多种领域的科研和中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。 D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。
特点 • 高耐压性 • 橡胶密封、模拟电路的MFC • 采用DB15型电插头,标准机械接头 • CE,兼容 技术参数 类型:D07-11C 流量规格:( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM 准确度:±1 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) 线性:±0.5 % F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) 重复精度:±0.2 %F.S 响应时间:电特性:10sec 气特性:≤4sec 大工作压力:10 MPa 气压降:- 工作压差范围:≤10SLM (0.2 ~ 0.8) MPa >10SLM (0.2 ~ 0.6) MPa 耐压:10 MPa 工作环境温度:5 ℃ ~ 45 ℃ 输入输出信号:0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) 电源:+15 V 50 mA,-15V 200 mA 重量:1.2kg
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