自动磁控离子溅射仪 仪表 自动磁控离子溅射仪 仪表
输入电压 AC220V±10%,50Hz 工作电压 DC600V 大功率(主机与机械泵) 450W 可选靶材 金、铂、银、铜、钛、铅等常用金属 真空泵 两级直联旋片式真空泵 1L/s 真空腔 约φ125×125mm 样品杯 φ64×1 整机尺寸(长×宽×高) 424×271×255(mm) 重量(主机) 11 kg 工作环境 温度 5~40℃,湿度<60% 存储环境 温度-10~60℃,湿度<80% 工作气体 Air / Ar 保护功能 过流、真空双保护
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