小型离子溅射仪 小型离子溅射仪
主要规格和技术指标: 1.靶(上部电极):材料:金,直径:50mm,厚度:0.1mm 纯度:99.999% 2、真空室:直径:160mm,高:110mm 3.样品台(下部电极):溅射面积:直径:50mm 4.工作真空: 8×10-2—2×10-1 mbar 5.离子电流表:电流:50mA 6.数显计丨时器:根据溅射习惯设定单次溅射时间。 7.溅射电压:-1600DVC 8.真空泵(VTD-4):1.1升/每秒 9.工作室工作媒介气体:空气或氩气等多种气体 10.针阀: 配有进气口,微量充气调节,可连接φ4*2.5mm软管 11. 外型尺寸:360mm×300mm×380mm
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