小型离子溅射仪 小型离子溅射仪
主要规格和技术指标：
1.靶（上部电极）：材料：金，直径：50mm，厚度：0.1mm 纯度：99.999%
2、真空室：直径：160mm，高：110mm
3.样品台（下部电极）：溅射面积：直径：50mm
4．工作真空： 8×10-2—2×10-1 mbar
5.离子电流表：电流：50mA
6.数显计丨时器：根据溅射习惯设定单次溅射时间。
7.溅射电压：-1600DVC
8.真空泵（VTD-4）:1.1升/每秒
9.工作室工作媒介气体：空气或氩气等多种气体
10．针阀： 配有进气口，微量充气调节，可连接φ4*2.5mm软管
11. 外型尺寸：360mm×300mm×380mm
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