小型离子溅射仪（海富）仪表

小型离子溅射仪（海富）仪表

1.靶（上部电极）：材料：金，直径：50mm，厚度：0.1mm　纯度：99.999%

2、真空室：直径：160mm，高：120mm

3.样品台（下部电极）：溅射面积：直径：50mm

4．工作真空： 8×10-2—2×10-1 mbar

5.离子电流表：50mA

6.数显计时器：根据溅射设定单次溅射时间。

7.电压：-1600DVC

8.机械泵:2升/每秒

9.工作室工作媒介气体：空气或氩气，

10．微型真空气阀： 配有氩气进气口和微量充气调节，可连接φ3mm软管。

11. 外型尺寸：360mm×300mm×380mm

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