小型离子溅射仪(海富)仪表 小型离子溅射仪(海富)仪表
1.靶(上部电极):材料:金,直径:50mm,厚度:0.1mm 纯度:99.999%
2、真空室:直径:160mm,高:120mm
3.样品台(下部电极):溅射面积:直径:50mm
4.工作真空: 8×10-2—2×10-1 mbar
5.离子电流表:50mA
6.数显计时器:根据溅射设定单次溅射时间。
7.电压:-1600DVC
8.机械泵:2升/每秒
9.工作室工作媒介气体:空气或氩气,
10.微型真空气阀: 配有氩气进气口和微量充气调节,可连接φ3mm软管。
11. 外型尺寸:360mm×300mm×380mm
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