小型离子溅射仪（器材）仪表 小型离子溅射仪（器材）仪表
主机规格：340mm×390mm×300mm（W×D×H） 靶（上部电极）：金：50mm×0.1mm（D×H） 靶材：Au（标配） 样品室：硼硅酸盐玻璃 160mm×120mm（D×H） 靶材尺寸：Ф 50mm 真空指示表： 高真空度：≤ 4X10-2 mbar 离子电流表： 大电流：50mA 定时器： 长时间：1-360s 微型真空气阀：可连接φ 3mm 软管 可通入气体： 多种 高电压： -2800 DCV 机械泵：标准配置 2L/S（国产 VRD-8）
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