磁控溅射仪（海富达）仪表 磁控溅射仪（海富达）仪表
主机规格：300mm×360mm×380mm（W×D×H） 靶（上部电极）：金：50mm×0.1mm（D×H） 靶材：Au（标配） 样品室：玻璃腔体160mm×120mm（D×H） 靶材尺寸：Ф50mm 高真空度：≤ 4X10-2 mbar 大电流：100mA 定时器：数码计时 0-999S 镀膜面积：50mm 微型真空气阀：可连接φ3mm软管 可通入气体：多种 高电压：-1600 DCV 机械泵：标准配置2L/S（国产VRD-8） 冷却方式：冷水机（可根据实验具体要求自备） 速率：0--60nm/min
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