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磁控溅射仪
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产品名称: 磁控溅射仪
产品型号: KM1-SD-900M
产品报价:
QQ咨询: 有事Q我
产品特点: 磁控溅射仪
主机规格:300mm×360mm×380mm(W×D×H)
靶(上部电极):金:50mm×0.1mm(D×H)
靶材:Au(标配)
样品室:玻璃腔体160mm×120mm(D×H)
靶材尺寸:Ф50mm
高真空度:≤ 4X10-2 mbar
产品简介

磁控溅射仪

磁控溅射仪


主机规格:300mm×360mm×380mm(W×D×H)

靶(上部电极):金:50mm×0.1mm(D×H)

靶材:Au(标配)

样品室:玻璃腔体160mm×120mm(D×H)

靶材尺寸:Ф50mm

高真空度:≤ 4X10-2 mbar

大电流:100mA

定时器:数码计时 0-999S

镀膜面积:50mm

微型真空气阀:可连接φ3mm软管

可通入气体:多种

高电压:-1600 DCV

机械泵:标准配置2L/S(国产VRD-8)

冷却方式:冷水机(可根据实验具体要求自备)

速率:0--60nm/min


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