质量流量控制器

质量流量控制器

D07-23FM 流量计与 D07-23F 型控制器相比，在结构上的不同点就是少了电磁调节阀，其它部分基本相同！

质量流量计 (Mass Flow Meter 缩写为 MFM) 用于对气体的质量流量进行测量；质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

D07 系列具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 采用标准接头, 其操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。

D07-23F 型质量流量控制器和质量流量计均为 24V 单电源供电，一般与我公司 D08-1K型流量显示仪配套使用

主要技术指标
 D07-23F 型  性能指标
1  流量规格  0~20,30,50,100,150,200,250 SLM
2  流量控制范围  2~100% of F.S.
3  准确度  ±1.5% F.S.
4  线性  ±1% F.S.
5  重复精度  ±0.2% F.S.
6  响应时间  ≤ 3sec
7  工作压差范围
20,30 SLM: (0.05~0.30) MPa (7.3~43.5 psid)
50~150 SLM: (0.10~0.30) MPa (14.5~43.5 psid)
200,250 SLM: (0.15~0.30) MPa (21.8~43.5 psid)
8  大工作压力  1 MPa (145psig)
9  耐压  3 MPa (435.1 psig)
10  温度系数  Zero: ≤ ± 0.1% F.S. /℃; Span: ≤ ± 0.2% F.S. /℃;
11  工作环境温度  5℃ ~ 45℃
12  输入信号  4~20 mA 或 1~5 VDC
13  输出信号  4~20 mA 或 1~5 VDC
14  电源  24VDC 400 mA
15  外形尺寸  

16  重量  2.6 kg

D07-23FM 型  性能指标
1  流量规格  0~20,30,50,100,150,200,250 SLM
2  流量控制范围  2~100% of F.S.
3  准确度  ±1.5 % F.S.
4  线性 ±1 % F.S.
5  重复精度 ±0.2 % F.S.
6  响应时间  ≤3 sec
7 工作压差范围
20~100SLM: <0.02 MPa (2.9 psid)
>100SLM: <0.05 MPa (7.3 psid)
8  大工作压力  1 MPa (145psig)
9  耐压  3 MPa (435.1 psig)
10  温度系数  Zero: ≤ ± 0.1% F.S. /℃; Span: ≤ ± 0.2% F.S. /℃;
11  工作环境温度  5 ℃ ~ 45 ℃
12  输入信号  4~20 mA 或 1~5 VDC
13  输出信号  4~20 mA 或 1~5 VDC
14  电源  24 VDC 100 mA
15  外形尺寸
16  重量  1.5 kg