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磁控溅射仪 仪表
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产品名称: 磁控溅射仪 仪表
产品型号: HE3-SD-981M
产品报价:
QQ咨询: 有事Q我
产品特点: 磁控溅射仪 仪表
型号:HE3-SD-981M
库号:M361801
靶材:Au(标配)50mm×0.1mm(D×H)
产品简介

磁控溅射仪 仪表

磁控溅射仪 仪表


参数:
主机规格:长510mm×宽310mm×高290mm(含腔体)
靶材:Au(标配)50mm×0.1mm(D×H)
样品室:玻璃腔体直径180mm×高120mm(D×H)
样品台直径:φ70mm
靶材尺寸:Ф50mm
高真空度:1Pa
工作真空:2-15Pa
定时器:数码计时 0-600S
镀膜面积:50mm
溅射电流:0-50Ma
真空测量:皮拉尼真空计
触摸屏:7寸
程序:VPI人机界面
可通入气体:多种
高电压:500 DCV
机械泵:VRD-8
速率:0--60nm/min
主机功率:100W
工作电压:220V,50HZ


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