磁控溅射仪 仪表 磁控溅射仪 仪表
参数: 主机规格:长510mm×宽310mm×高290mm(含腔体) 靶材:Au(标配)50mm×0.1mm(D×H) 样品室:玻璃腔体直径180mm×高120mm(D×H) 样品台直径:φ70mm 靶材尺寸:Ф50mm 高真空度:1Pa 工作真空:2-15Pa 定时器:数码计时 0-600S 镀膜面积:50mm 溅射电流:0-50Ma 真空测量:皮拉尼真空计 触摸屏:7寸 程序:VPI人机界面 可通入气体:多种 高电压:500 DCV 机械泵:VRD-8 速率:0--60nm/min 主机功率:100W 工作电压:220V,50HZ
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