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磁控溅射仪
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产品名称: 磁控溅射仪
产品型号: SD-900MH
产品报价:
QQ咨询: 有事Q我
产品特点: 磁控溅射仪
型号:HHD3-SD-900MH
库号:M346244
主机规格:340mm×390mm×300mm(W×D×H)
产品简介

磁控溅射仪

磁控溅射仪

 

参数:
主机规格:340mm×390mm×300mm(W×D×H)
靶(上部电JI):Au 50mm×0.1mm(D×H)
靶材:Au(标配)
样品室:玻璃腔体180mm×120mm(D×H)
样品台直径:φ70mm
靶材尺寸:Ф50mm
高真空度:≤ 5X10-3 mbar
大电流:100mA
定时器:数码计时 0-999S
镀膜面积:50mm
微型真空气阀:可连接φ3mm软管
可通入气体:多种
高电压:-1600 DCV
机械泵:VRD-8
速率:0--60nm/min


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