磁控溅射仪 磁控溅射仪 参数: 主机规格:340mm×390mm×300mm(W×D×H) 靶(上部电JI):Au 50mm×0.1mm(D×H) 靶材:Au(标配) 样品室:玻璃腔体180mm×120mm(D×H) 样品台直径:φ70mm 靶材尺寸:Ф50mm 高真空度:≤ 5X10-3 mbar 大电流:100mA 定时器:数码计时 0-999S 镀膜面积:50mm 微型真空气阀:可连接φ3mm软管 可通入气体:多种 高电压:-1600 DCV 机械泵:VRD-8 速率:0--60nm/min
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